1. 消耗品等部品交換及び調整
2. 装置内クリーニング
3. 干渉計の調整
4. 光軸確認及びアライメント調整
5. 総合点検作業(チェックシート添付、校正済ポリスチレンフィルム使用)
● エネルギーチェック
● 波数正確さ&波数繰り返し性の確認
● 透過率繰り返し性の確認
● 100%ライン&S/Nの確認
Standard Planよりもさらに手厚いメンテナンスをご希望のお客様向けのプランです。
装置の状況を確認後ご提案いたします。
装置内のパーツを全て一新したいというお客様向けのプランです。
ご相談は最寄りのサービスセンターまでお問い合わせください。
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