超高純度窒素/クリーンドライエア発生装置
コンプレッサー内蔵
NGA SIRIOは超高純度窒素とクリーンドライエアを供給する複合システムです。100%オイルフリーの高性能・低騒音ピストンコンプレッサーを搭載しています。
窒素流量は最大1.5 L/minと3.0 L/minのモデルがあり、クリーンドライエア最大流量3.0 L/minと組み合わせた2種類のモデルから選べます。
【特徴】
● 窒素とクリーンドライエアの複合システム
● 窒素最大流量:3 L/min、ドライエア最大流量:3 L/min
● 窒素純度最高99.9999%以上、最大圧力:5.5 bar
● 全炭化水素< 0.05ppm(CH₄オーブンスクラバーオプション)※
● 長寿命100%オイルフリーコンプレッサー内蔵
※オプションは窒素またはドライエアのいずれか一方にのみ搭載可能です。
【仕様】
型式: | NGA SIRIO 1500 | NGA SIRIO 3000 |
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窒素純度 | 99.9999%以上 | 99.9995%以上 |
窒素露点 | < -60℃ | |
窒素最大圧力 | 5.5 bar(79.7 psi) | |
窒素最大流量 | 1.5 L/min | 3.0 L/min |
全炭化水素 含有量(窒素) |
< 0.05ppm (CH₄オーブンスクラバーオプション) |
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クリーン ドライエア |
最大流量:3.0 L/min 最大圧力:5.5 bar 露点:< -60℃ 全炭化水素含有量 < 0.05ppm (CH₄オーブンスクラバーオプション) |
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寸法 (W×D×H) |
43×75×68 cm | |
重量 | 115 kg |