超高純度窒素発生装置
NG EOLOは外部より供給された圧縮空気からカーボンモレキュラーシーブカラム2本のPSA(圧力スイング吸着)により酸素、二酸化炭素、水分を除去して窒素を生成します。標準で内蔵しているCH₄オーブンスクラバーで炭化水素を除去します。
他のガス発生装置を積み重ねることで『スタッカブルシステム』を構築できます。
【特徴】
● 最大99.9999%以上の超高純度窒素
● コンパクトで素敵なデザイン
● 炭化水素を0.05ppm未満に除去するCH₄オーブンスクラバーを標準搭載
● HG BASIC/PRO、ZA FID Air、ZA TOTAL Air、AG OFCAS 35と積み重ねが可能
● メンテナンスは圧縮空気入口フィルターの交換のみ
【仕様】
型式: | NG EOLO 500 | NG EOLO 750 | NG EOLO 1300 | NG EOLO 4000 |
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窒素純度 | 99.9999%以上 | 99.95%以上 | 99.0%以上 | |
露点 | < -60℃ | |||
最大圧力 | (エア供給圧力)-2 bar:最大圧力5 bar(72.5 psi) | |||
最大流量 | 500 mL/min | 750 mL/min | 1300 mL/min | 4000 mL/min |
全炭化水素含有量 | < 0.05ppm(CH₄オーブンスクラバー標準搭載) | |||
エア供給圧力 | 最小:6.5 bar(94 psi) 最大:9 bar(130 psi) | |||
寸法 (W×D×H) |
27×48×28 cm | |||
重量 | < 25 kg |