19インチラック 超高純度窒素発生装置
NG RACK 5Uは外部より供給された圧縮空気からカーボンモレキュラーシーブカラム2本のPSA(圧力スイング吸着)により酸素、二酸化炭素、水分を除去して窒素を生成します。オプションのCH₄オーブンスクラバーで炭化水素を除去できます。
ラックタイプの他のガス発生装置と一緒にキャビネットに収納することで『ラックキャビネットシステム』を構築できます。
【特徴】
● 高純度水素99.9999%以上の超高純度窒素
● 最大流量:1000 mL/min、最大圧力:7 bar
● 2本のカーボンモレキュラーシーブカラムを用いたPSAシステム
● メンテナンスはフィルターエレメントの交換のみ
【仕様】
型式: | NG RACK 5U 600 | NG RACK 5U 1000 |
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窒素純度 | 99.9999%以上 | 99.9995%以上 |
露点 | < -60℃ | |
最大圧力 | (エア供給圧力)-2 bar | |
最大流量 | 600 mL/min | 1000 mL/min |
炭化水素含有量 | < 0.05ppm (オプションのCH₄オーブンスクラバーをつけた場合) |
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エア供給圧力 | 最小/最大圧力:6.5 bar(94 psi)/9 bar(130 psi) | |
寸法 | 標準19インチラック 5U、奥行 48 cm | |
重量 | 27 kg |