19インチラック 超高純度窒素発生装置 コンプレッサー内蔵
NG RACK 4U Cはカーボンモレキュラーシーブカラムを用いたPSA(圧力スイング吸着)により酸素、二酸化炭素、水分を除去して窒素を生成します。オプションの触媒オーブンで炭化水素を除去できます。さらに乾燥剤カラム(オプション)をつけた場合低露点の窒素を供給できます。
オイルフリーコンプレッサーを内蔵しているため圧縮空気の供給源を用意する必要はありません。
ラックタイプの他のガス発生装置と一緒にキャビネットに収納することで『ラックキャビネットシステム』を構築できます。
【特徴】
● 99.9999%以上の超高純度発生装置
● 炭化水素0.05ppm未満に除去(触媒オーブンオプション)
● カーボンモレキュラーシーブカラムを用いたPSAシステム
● メンテナンスはフィルター交換のみ
【仕様】
型式: | NG RACK 4U 150C | NG RACK 4U 500C |
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水素純度 | 99.9999%以上 | 99.999%以上 |
露点 | < -50℃(< -70℃:乾燥剤カラムオプションを付けた場合) | |
最大圧力 | 5.5 bar(79.7 psi) | 4 bar(58 psi) |
最大流量 | 150 mL/min | 500 mL/min |
全炭化水素含有量 | < 0.05ppm (触媒オーブンオプションを付けた場合) |
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寸法 | 標準19インチラック 4U、奥行 54 cm | |
重量 | 27 kg |